Litografiakone Maskin kohdistusvalokuvaetsauskone
Tuotteen esittely
Valotusvalolähde käyttää tuotua UV-LED- ja valonlähteen muotoilumoduulia, jolla on pieni lämpö ja hyvä valonlähteen vakaus.
Käänteisellä valaistusrakenteella on hyvä lämmönpoistovaikutus ja valonlähteen läheinen vaikutus, ja elohopealampun vaihto ja huolto ovat yksinkertaisia ja käteviä. Varustettu suurennostetulla kaksoiskenttämikroskoopilla ja 21 tuuman laajakuvanäytöllä, se voidaan kohdistaa visuaalisesti
okulaari tai CCD + -näyttö, korkea kohdistustarkkuus, intuitiivinen prosessi ja kätevä käyttö.
Ominaisuudet
Fragmenttien käsittelytoiminnolla
Tasaava kosketuspaine varmistaa toistettavuuden anturin läpi
Kohdistusrako ja valotusrako voidaan asettaa digitaalisesti
Sulautetun tietokoneen + kosketusnäytön käyttö, yksinkertainen ja kätevä, kaunis ja antelias
Vedä ylös ja alas levy, yksinkertainen ja kätevä
Tukea alipainekosketusaltistusta, kovakosketusaltistusta, painekontaktialtistusta ja läheisyysaltistusta
Nano imprint -liitäntätoiminnolla
Yksikerroksinen valotus yhdellä näppäimellä, korkea automaatioaste
Tällä koneella on hyvä luotettavuus ja kätevä esittely, erityisesti opetukseen, tieteelliseen tutkimukseen ja korkeakoulujen ja yliopistojen tehtaisiin
Lisätietoja
Erittely
1. Valotusalue: 110 mm × 110 mm；
2. ★ Altistuksen aallonpituus: 365 nm;
3. Resoluutio: ≤ 1m;
4. Kohdistustarkkuus: 0,8 m;
5. Kohdistusjärjestelmän skannauspöydän liikealueen on oltava vähintään: Y: 10 mm;
6. Kohdistusjärjestelmän vasen ja oikea valoputki voivat liikkua erikseen X-, y- ja Z-suunnassa, X-suunta: ± 5 mm, Y-suunta: ± 5 mm ja Z-suunta: ± 5 mm;
7. Maskin koko: 2,5 tuumaa, 3 tuumaa, 4 tuumaa, 5 tuumaa;
8. Näytteen koko: fragmentti, 2 ", 3", 4 ";
9. ★ Soveltuu näytteen paksuudelle: 0,5-6 mm, ja voi tukea enintään 20 mm näytekappaleita (räätälöity);
10. Valotustila: ajoitus (lähtölaskenta);
11. Valaistuksen epätasaisuus: ＜ 2,5 %;
12. Kaksikenttäinen CCD-kohdistusmikroskooppi: zoom-objektiivi (1-5 kertaa) + mikroskoopin objektiivilinssi;
13. Maskin liikeliikkeen näytteeseen nähden on oltava vähintään: X: 5 mm; Y: 5 mm; : 6º；
14. ★ Altistuksen energiatiheys: > 30MW / cm2,
15. ★ Kohdistusasento ja valotusasento toimivat kahdessa asemassa, ja kahden aseman servomoottori kytkeytyy automaattisesti;
16. Tasaava kosketuspaine varmistaa toistettavuuden anturin kautta;
17. ★ Kohdistusrako ja valotusrako voidaan asettaa digitaalisesti;
18. ★ Siinä on nano-leimausliitäntä ja läheisyysliitäntä;
19. ★ Kosketusnäytön käyttö;
20. Kokonaismitta: Noin 1400mm (pituus) 900mm (leveys) 1500mm (korkeus).
