Litografiakone Mask Aligner -valoetsauskone
Tuotteen esittely
Valotusvalonlähde ottaa käyttöön maahantuotuja UV-LED-valoja ja valonlähteen muotoilumoduulia, joilla on pieni lämpö ja hyvä valonlähteen vakaus.
Käänteinen valaistusrakenne haihduttaa hyvin lämpöä ja sulkee valonlähteen, ja elohopealampun vaihto ja huolto ovat yksinkertaisia ja käteviä. Varustettuna suurella suurennuksella varustetulla binokulaarisella kaksoiskenttämikroskoopilla ja 21 tuuman laajakuvanäytöllä, se voidaan kohdistaa visuaalisesti.
okulaari tai CCD + näyttö, korkea kohdistustarkkuus, intuitiivinen prosessi ja kätevä käyttö.
Ominaisuudet
Fragmenttien käsittelytoiminnolla
Tasaava kosketuspaine varmistaa toistettavuuden anturin avulla
Kohdistusväli ja valotusväli voidaan asettaa digitaalisesti
Sulautetun tietokoneen ja kosketusnäytön käyttö, yksinkertainen ja kätevä, kaunis ja antelias
Vedä tyyppi ylös ja alas -levy, yksinkertainen ja kätevä
Tukee tyhjiökosketusaltistusta, kovakosketusaltistusta, painekosketusaltistusta ja läheisyysaltistusta
Nano-painatusliitäntätoiminnolla
Yhden kerroksen valotus yhdellä näppäimellä, korkea automaatioaste
Tällä koneella on hyvä luotettavuus ja kätevä esittely, joten se sopii erityisesti opetukseen, tieteelliseen tutkimukseen ja tehtaisiin korkeakouluissa ja yliopistoissa.
Lisätietoja
Tekniset tiedot
1. Valotusalue: 110 mm × 110 mm；
2. ★ Valotuksen aallonpituus: 365 nm;
3. Resoluutio: ≤ 1 m;
4. Kohdistustarkkuus: 0,8 m;
5. Kohdistusjärjestelmän skannauspöydän liikealueen on oltava vähintään seuraavaa: Y: 10 mm;
6. Kohdistusjärjestelmän vasen ja oikea valoputki voivat liikkua erikseen X-, y- ja Z-suunnissa, X-suunta: ± 5 mm, Y-suunta: ± 5 mm ja Z-suunta: ± 5 mm;
7. Maskin koko: 2,5 tuumaa, 3 tuumaa, 4 tuumaa, 5 tuumaa;
8. Näytteen koko: fragmentti, 2", 3", 4";
9. ★ Sopii näytteen paksuudelle: 0,5–6 mm, ja tukee enintään 20 mm:n näytekappaleita (räätälöity);
10. Valotustila: ajoitus (lähtölaskentatila);
11. Valaistuksen epätasaisuus: ＜ 2,5 %;
12. Kaksoiskenttäinen CCD-kohdistusmikroskooppi: zoom-objektiivi (1–5-kertainen) + mikroskoopin objektiivi;
13. Maskin liikeradan suhteessa näytteeseen on oltava vähintään seuraavat: X: 5 mm; Y: 5 mm; : 6º；
14. ★ Altistuksen energiatiheys: > 30 MW / cm2,
15. ★ Kohdistusasento ja valotusasento toimivat kahdessa asemassa, ja kahden aseman servomoottori vaihtaa automaattisesti;
16. Tasoituskosketuspaine varmistaa toistettavuuden anturin kautta;
17. ★ Kohdistusväli ja valotusväli voidaan asettaa digitaalisesti;
18. ★ Siinä on nanopainatusliitäntä ja läheisyysliitäntä;
19. ★ Kosketusnäytön käyttö;
20. Kokonaismitat: Noin 1400 mm (pituus), 900 mm (leveys) ja 1500 mm (korkeus).
